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电子半导体行业的废水要紧泉源于磨板、蚀刻、电镀、显影等工序出现的洗刷废水、车间的地面洗刷水、以及超纯水冲刷造备晶圆后的废水等，要紧囊括含铜、含镍等重金属废水，含氟废水、含氰废水等。这几类废水的因素繁杂、污染物含量高，对水体境况均拥有吃紧的摧残和影响。正在我国国度准则《GB39731-2020 电子工业水污染物排放准则》中，对废水中污染物排放的含量都有厉苛的限值。加紧电子半导体行业临蓐废水的处置和检测向来是急需处理的环保困难。
